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靶材为什要测量密度?

靶材为什要测量密度?秒准靶材密度计的优势在哪里?

靶材本身的致密度,靶材的致密度很高时,不易吸附,无空隙,背靶易脱落。

为了减少靶材固体中的气孔,提高溅射薄膜的性能,通常要求靶材具有较高的密度。靶材的密度不仅影响溅射速率,还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。此外,提高靶材的密度和强度使靶材能更好地承受溅射过程中的热应力。密度也是靶材的关键性能指标之一。

靶材在生产制造的过程中需要对其密度进行测试,采用的方法是阿基米德原理,仪器自动计算出靶材密度g/cm3。目前生产的测试采用人工对靶材进行测量,由于靶材重量大,操作不便,不利于手动计算测试密度。因此需要一种专用密度仪进行操作。因此解决这一问题就显得十分必要。

如何测量靶材的密度?

陶瓷靶材密度测试仪MAY-AE10应用于各种靶材材料。按材质分类可分为金属靶材(纯金属铝、钛、铜、钽等)、合金靶材(镍铬合金、镍钴合金等)、陶瓷化合物靶材(氧化物、硅化物、碳化物、硫化物等)。按应用领域分类靶材可分为半导体芯片靶材、平板显示靶材、太阳能电池靶材、信息存储靶材等等都可以测密度。
原理:根据ASTM B311、B328;MPIF 42、57;JIS Z2505、Z2506、GB/T5163、ISO2738。可适用于煮沸法、真空饱和法量测,采用阿基米德原理浮力法,准确直读量测数值。

秒准靶材密度计经过市场10几年的验证以及不断的研发升级,现已具备以下特点:
1、数显直读,无需人工计算,直接显示密度和体积等参数。

2、全彩7寸触摸屏操作,自带打印功能,可编辑带公司名称物料编码的数据报告。
3、采用梅特勒原装进口传感器,测量精准、操作简便、稳定耐用。
4、具有实际水温补偿功能,可适应测试环境变化。

5、可设定媒介液密度,使用水作介质,也可使用其它液体介质。
6、采用SUS304一体水槽,耐腐蚀耐摔,底部设计静音万向轮,便于移动。

7、含USB通信接口,方便与电脑连接。

8、内置静音排水系统,方便换水。
功能描述:

1、直接读取靶材工件的密度和体积。

2、直接读取多孔材料体密度、湿密度、视密度、视孔隙率、吸水率、开孔体积、封孔体积、总孔隙率。

特别备注:秒准靶材密度计支持非标定制,已经为多家用户实现自动化密度测试仪非标定制,搭配机械手/吊机,自动完成密度测试,自动输出数据。
技术参数:

品牌

MAYZUM(保修期:三年)

型号

MAY-AE10

MAY-AE30

MAY-AE50

MAY-AE80

最大称重

0.1g-10kg

0.1g-30kg

0.5g-50kg

2g-80kg

密度精度

0.001 g/cm3

密度范围

0.001~99.999g/cm3

吸水率

吸水率、孔隙率0.1%

水槽尺寸

水槽尺寸:1.2*1*1.2m(长宽高),依据客户工件尺寸定制最终尺寸

测量时间

约5秒

测量步骤

放水中吊篮上,按保存键密度和体积直接显示,并打印数据报告。
多孔材料、粉末测试步骤依据国标请参考随机说明书

结果显示

体密度、湿密度、视密度、视孔隙率、吸水率、开孔体积、封孔体积、总孔隙率

参数设定

水温设定、媒介液体密度设定

校正方式

一键自动校正

输出方式

RS-232C标准通信接口、方便测试数据输出与打印

温湿度范围

允许环境温度:0~45℃;允许相对湿度:80%以内

电    源

AC~220V / 50HZ(出口电源需定制,订货前提前注明即可)

操作面板

4.寸触摸屏

标准配件

①主机一台、②测量组件一套、③电源变压器一个、④打印纸1卷

选购配件

□MZ-300KPA工业真空浸润机